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    Titel :

    Onboard excimer laser metrology advances photolithography


    Beteiligte:
    Cacouris, T. (Autor:in) / Seong, N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 48 , 9 ; 64-68


    Erscheinungsdatum :

    2012-01-01


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    Excimer-laser advances aid production of fiber gratings

    Mayer, E. / Basting, D. | British Library Online Contents | 2000


    Solid state laser for photolithography

    Andreev, Nikolay / Babin, A. A. / Bityurin, Nikita M. et al. | SPIE | 1992


    Advances in onboard systems technology

    Europäische Kommission, Generaldirektion Wissenschaft, Forschung und Entwicklung | TIBKAT | 1996


    Recent advances in excimer laser technology at Los Alamos

    Bigio, Irving J. / Czuchlewski, Stephen J. / McCown, Andrew W. et al. | SPIE | 1991