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    Titel :

    Pneumatic Servo Bearing Actuator for Ultraprecise Positioning


    Beteiligte:


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    627




    Electro-Pneumatic Servo Actuator Evaluation Procedure

    W. F. Funnell / K. E. Krauter / H. O. Suttkus | NTIS | 1967


    A Servo Pneumatic Actuator for Semiconductor Assembly

    Sakaki, K. | British Library Online Contents | 2010


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    Hecht, J. | British Library Online Contents | 2012


    Design of Pneumatic Positioning Servo System Using Disturbance Observer

    Noritsugu, T. / Takaiwa, M. | British Library Online Contents | 1995