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    Titel :

    Miniaturization limits of piezoresistive MEMS accelerometers


    Beteiligte:
    Engesser, M. (Autor:in) / Franke, A. R. (Autor:in) / Maute, M. (Autor:in) / Meisel, D. C. (Autor:in) / Korvink, J. G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 12 ; 1835-1844


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Miniaturization limits of field-effect based MEMS accelerometers

    Engesser, M. / Jakovlev, O. / Franke, A. R. et al. | British Library Online Contents | 2010


    Effects of package on the performance of MEMS piezoresistive accelerometers

    Li, P. / Gao, S. / Liu, H. et al. | British Library Online Contents | 2013


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    Roy, A. L. / Bhattacharyya, T. K. | British Library Online Contents | 2015


    Piezoresistive 3D Printed (FFF) Accelerometers

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    Piezoresistive 3D Printed (FFF) Accelerometers

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