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    Titel :

    Characterization and modeling of electro-thermal MEMS structures


    Beteiligte:
    Szabó, P. t. (Autor:in) / Székely, V. r. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 8 ; 1293-1301


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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