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    Titel :

    High quality factor silicon cantilever driven by piezoelectric thin film actuator for resonant based mass detection


    Beteiligte:
    Lu, J. (Autor:in) / Ikehara, T. (Autor:in) / Zhang, Y. (Autor:in) / Mihara, T. (Autor:in) / Itoh, T. (Autor:in) / Maeda, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 8 ; 1163-1169


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Piezoelectric thin film ultraonic actuator

    Kurosawa, M. | British Library Online Contents | 1997


    Dynamic behavior of resonant piezoelectric cantilever as liquid level detection sensor

    Maroufi, M. / Shamshirsaz, M. | British Library Online Contents | 2012


    Flutter Control of a Cantilever Thin Plate Using Piezoelectric Film as Actuators

    Tani, J. / Liu, Y.-Z. / Chonan, S. | British Library Online Contents | 1994


    Finite Element Analysis of Cantilever Beam for Optimal Placement of Piezoelectric Actuator

    Khalatkar, A.M. / Haldkar, R.H. / Gupta, V.K. | British Library Conference Proceedings | 2012


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