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    Titel :

    THIN-FILM METROLOGY Spectroscopic ellipsometer becomes industrial thin-film tool


    Beteiligte:
    Teboul, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 42 , 6 ; 93-98


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    Accurate metrology improves thin-film filter yield

    Novak, M. / Zecchino, M. / Novak, E. | British Library Online Contents | 2001




    New purged UV spectroscopic ellipsometer to characterize thin films and multilayers at 157 nm [4099-25]

    Boher, P. / Evrard, P. / Piel, J.-P. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    The rotating-analyser-polarizer type of spectroscopic ellipsometer

    Chen, L. Y. / Zhang, R.-J. / Zheng, W.-M. et al. | British Library Online Contents | 1998