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    Titel :

    Modeling of Thermally Induced Error for High-Precision Step Imprint Tool


    Beteiligte:
    Le, Y. (Autor:in) / Bingheng, L. (Autor:in) / Yucheng, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    500



    Thermally Induced Error Analysis for the Imprint Spindle of High-Precision Imprint Lithography Tools

    Le, Y. / Bingheng, L. / Yucheng, D. | British Library Online Contents | 2004


    Temperature Variable Recognition for Thermal Error Compensation in High Precision Imprint

    Le, Y. / Hongzhong, L. / Bingheng, L. | British Library Online Contents | 2006


    Automatic High Precision Alignment Technique Using Moire Signals for Imprint Lithography

    Yanrong, W. / Dongyin, C. / Yucheng, D. | British Library Online Contents | 2005



    Ultra-Precision Alignment for Room-Temperature Multi-Layer Imprint Lithography

    Li, W. / Bingheng, L. / Dongyin, C. | British Library Online Contents | 2004