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    Titel :

    Improvements in graphite-based X-ray mask fabrication for ultradeep X-ray lithography


    Beteiligte:
    Divan, R. (Autor:in) / Mancini, D. C. (Autor:in) / Gallagher, S. M. (Autor:in) / Booske, J. (Autor:in) / Van der Weide, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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