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    Titel :

    The Business Behind Optical Lithography


    Beteiligte:
    Reiss, S. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1998-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.36



    Simulation of optical lithography

    Erdmann, A. / Henke, W. / SPIE et al. | British Library Conference Proceedings | 1999


    Trends in Optical Lithography

    Mack, C. A. | British Library Online Contents | 1996



    A Roadmap for Optical Lithography

    Rothschild, M. | British Library Online Contents | 2010


    Super-resolution by nonlinear optical lithography

    Bentley, S.J. / Boyd, R.W. | IEEE | 2003