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    Titel :

    High speed hydraulic scanner for deep X-ray lithography


    Beteiligte:
    Milne, J. C. (Autor:in) / Johnson, E. D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1998-01-01


    Format / Umfang :

    2 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    High speed, ultra-high resolution 3D laser scanner

    Svetkoff, Donald J. / Kilgus, Donald B. | SPIE | 1994


    Angle Sensor for a High-Speed Galvo Scanner

    Gilyazov, M. R. / Nagulin, K. Yu. / Gil’mutdinov, A. Kh. | Springer Verlag | 2018



    Wide angle high speed large aperture optical scanner

    Yaqoob, Z. / Steedle, J. / Riza, N.A. | IEEE | 2001


    Angle Sensor for a High-Speed Galvo Scanner

    Gilyazov, M. R. / Nagulin, K. Yu. / Gil’mutdinov, A. Kh. | Online Contents | 2018