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    Titel :

    Differential common path interferometry for picometre surface metrology


    Beteiligte:
    Schultze, A. (Autor:in) / Sell, A. (Autor:in) / Kögel, H. (Autor:in) / Weise, D. (Autor:in) / Braxmaier, C. (Autor:in)

    Kongress:

    International Conference on Space Optics — ICSO 2020



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2021


    Format / Umfang :

    118526N-118526N-10




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Stitching Interferometry: A Flexible Solution for Surface Metrology

    Murphy, P. / Forbes, G. / Fleig, J. et al. | British Library Online Contents | 2003


    Interferometry for Accurate Displacement Metrology

    Lawall, J. | British Library Online Contents | 2004


    Space Interferometry Mission: Starlight and Metrology Subsystems

    Stubbs, D. / Schaechter, D. / Prior, M. et al. | NTRS | 2002



    Metrology for spatial interferometry IV [3116-02]

    Guersel, Y. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1997