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    Titel :

    Pattern Alignment Method Based on Consistency Among Local Registration Candidates for LSI Wafer Pattern Inspection



    Kongress:

    6th, Workshop on applications of computer vision ; 2002 ; Orlando, FL



    Erscheinungsdatum :

    2002-01-01


    Format / Umfang :

    7 pages


    Anmerkungen:

    Also known as WACV 2002



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





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