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    Titel :

    Polarized light scattering from metallic particles on silicon wafers [4449-39]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 2nd, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2001 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2001


    Format / Umfang :

    10 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 4449

    DataCite | 1930


    Accurate sizing of deposited PSL spheres from light scatter measurements [4449-19]

    Stover, J. C. / Scheer, C. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2001


    X-ray study of surfaces and interfaces [4449-31]

    Asadchikov, V. E. / Bukreeva, I. N. / Duparre, A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001


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    Cohen-Sabban, J. / Gaillard-Groleas, J. / Crepin, J.-P. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001


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    Brunner, R. / Bischoff, J. / Rudolf, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001