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    Titel :

    AFM tip calibration using nanometer-sized structures induced by ion beam sputtering [4449-28]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 2nd, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2001 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    2001-01-01


    Format / Umfang :

    10 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 4449

    DataCite | 1930


    Measurement of steep aspheres: a step forward to nanometer accuracy [4449-25]

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    X-ray study of surfaces and interfaces [4449-31]

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