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    Titel :

    Si-based multilayers with high thermal stability [4146-23]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference, Soft x-ray and EUV imaging systems ; 2000 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    10 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 4146

    DataCite | 1925


    High-resolution soft x-ray microscopy [4146-24]

    Chao, W. / Anderson, E. H. / Denbeaux, G. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Portable diagnostics for EUV light sources [4146-13]

    Stuik, R. / Constantinescu, R. C. / Hegeman, P. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    DUV or EUV: that is the question [4146-01]

    Williamson, D. M. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Mo/Si multilayer coating technology for EUVL: coating uniformity and time stability [4146-06]

    Louis, E. / Yakshin, A. E. / Gorts, P. C. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000