Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Rotating compensator spectroscopic ellipsometry (RCSE) and its application to high-k dielectric film HfO~2 [4099-27]


    Beteiligte:
    Leng, J. (Autor:in) / Li, S. (Autor:in) / Opsal, J. L. (Autor:in) / Aspnes, D. E. (Autor:in) / Lee, B. H. (Autor:in) / Lee, J. C. (Autor:in) / Al-Jumaily, G. A. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2000 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    7 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Fast-scanning ellipsometry for thin film characterization [4099-39]

    Berge, C. / Krasilnikova, A. / Masetti, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Variable angle spectroscopic ellipsometry in the vacuum ultraviolet (Invited Paper) [4099-24]

    Woollam, J. A. / Hilfiker, J. N. / Tiwald, T. E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Nr. 4099

    DataCite | 1924


    Ellipsometry: a sophisticated tool for optical metrology (Invited Paper) [4099-23]

    Azzam, R. M. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    In-situ ellipsometric measurements of thin film aluminum oxidation [4099-26]

    Lindmark, E. K. / Nowak, J. J. / Kief, M. T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000