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    Titel :

    Refractive microlenses for ultraflat photolithographic projection systems (Invited Paper) [4179-15]



    Kongress:

    Conference, Micromachining technology for micro-optics ; 2000 ; Santa Clara, CA



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    7 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Micro-optics development in the past decade (Invited Paper) [4179-01]

    Sankur, H. O. / Motamedi, M. E. / International Society for Optical Engineering et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Optical measurement methods for refractive microlenses and arrays (Invited Paper) [4455-46]

    Lindlein, N. / Schwider, J. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2001


    Approach to higher reliability in 3D micromechanisms (Invited Paper) [4179-20]

    Shibaike, N. / Takeuchi, H. / Nakamura, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Nr. 4179

    DataCite | 1925


    Complex Rotators: Asteroid 4179 Toutatis

    Scheeres, Daniel J. | Springer Verlag | 2012