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    Titel :

    Present and future trends in excimer-laser-based microlithography [3403-34]



    Kongress:

    International conference; 2nd, Atomic and molecular pulsed lasers ; 1997 ; Tomsk; Russia



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    6 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Use of Brillouin scattering in excimer lasers [3403-07]

    Losev, V. F. / Panchenko, Y. N. / SPIE; Russia Chapter et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Excimer formation using low-energy electron-beam excitation [3403-43]

    Ulrich, A. / Wieser, J. / Murnick, D. E. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Nr. 3403

    DataCite | 1910


    Light sources using energy transfer from excimer to line radiation [3403-45]

    Wieser, J. / Ulrich, A. / Salvermoser, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    High-power ArXe laser [3403-01]

    Witteman, W. J. / Gielkens, S. W. A. / Tskhai, V. N. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998