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    Titel :

    Nonsilicon micromachining for MOEMS elements [3276-28]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 3rd, Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics ; 1998 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    8 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 3276

    DataCite | 1908



    Piezoelectrical elements for micro-optical applications (Invited Paper) [3276-22]

    Goetz, B. / Martin, T. / Buecker, P. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998



    Automatic test equipment for the micromirror array [3276-10]

    Kim, H. / Cho, K. / Kim, Y.-K. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998