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    Titel :

    Large-field high-resolution photolithography [3099-03]


    Beteiligte:
    Clube, F. S. (Autor:in) / Gray, S. (Autor:in) / Struchen, D. (Autor:in) / Malfoy, S. (Autor:in) / Parriaux, O. M. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Micro-optical technologies for measurement, sensors, and microsystems II ; 1997 ; Munich; Germany



    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01


    Format / Umfang :

    10 pages


    Anmerkungen:

    Held in conjunction with the conference on optical inspection and micromeasurement




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 3099

    DataCite | 1904


    High-resolution self-diffractive adaptive element for remote displacement sensing [3099-23]

    Dovgalenko, G. E. / Springer, W. T. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1997


    Electric and magnetic field sensing for high-voltage applications [3099-46]

    Bosselmann, T. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1997


    Fiber Bragg grating sensors [3099-53]

    Volanthen, M. / Geiger, H. / Trundle, K. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Electrically tunable NIR spectrometer [3099-22]

    Keraenen, K. / Karioja, P. / Rusanen, O. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997