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    Titel :

    Compact ArF excimer lasers specific to microlithography and surgery (Invited Paper) [2987-11]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 2nd, Gas and chemical lasers and applications ; 1997 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Processing of amorphous silicon flat panel displays with large-area excimer lasers (Invited Paper) [2987-10]

    Stehle, M. X. / Godard, B. / Stehle, J. L. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Nr. 2987

    DataCite | 1902


    Microwave-discharge-excited CO~2 laser using orthogonal electric fields (Invited Paper) [2987-01]

    Saito, K. / Kato, M. / Yajima, H. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Improved mass-spectrometric technique for gas lasers [2987-22]

    Wang, Y. / Li, J. / Huang, Z. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Progress in high-average-power CuBr vapor lasers [2987-14]

    Sabotinov, N. V. / Dimitrov, K. D. / Little, C. E. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997