Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Processing of amorphous silicon flat panel displays with large-area excimer lasers (Invited Paper) [2987-10]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 2nd, Gas and chemical lasers and applications ; 1997 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Compact ArF excimer lasers specific to microlithography and surgery (Invited Paper) [2987-11]

    Sekita, H. / Yano, J. / Tada, A. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Excimer lasers anneal flat-panel displays

    Stehle, M. | British Library Online Contents | 1996


    High-beam quality and high-average-power industrial CO~2 lasers (Invited Paper) [2987-04]

    Takenaka, Y. / Yasui, K. / Yagi, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Recent progress in high-power para-H~2 and ortho-D~2 Raman lasers (Invited Paper) [2987-16]

    Suda, A. / Tashiro, H. / Takasaki, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Nr. 2987

    DataCite | 1902