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    Titel :

    Application of Near-Field Optics to Critical Dimension Metrology



    Kongress:

    Annual meeting; 9th, IEEE: Lasers and Electro-Optics Society; LEOS '96 ; 1996 ; Boston; MA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1996


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    Described as proceedings. IEEE cat no: 96CH35895



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Application of near-field optics to critical dimension metrology

    Bukofsky, S. / Selberg, S. / Grober, R. | IEEE | 1996


    Metrology Mount and Optics Mandrels

    Tananbaum, H. / Russell, Kevin | NTRS | 2000


    Solar cells : their optics and metrology

    Koltun, Mark M. | TIBKAT | 1988


    Metrology on High Precision Zerodur Optics

    British Library Online Contents | 1992


    THz Near-field Optics

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1997