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    Titel :

    Optical network of silicon micromachined sensors [2687-10]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference, Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics ; 1996 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    11 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Actuation of polysilicon surface-micromachined mirrors [2687-07]

    Tien, N. C. / Kiang, M.-H. / Daneman, M. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Nr. 2687

    DataCite | 1897


    Micromirror arrays for active optical aberration control [2687-02]

    Gustafson, S. C. / Tuthill, T. A. / Watson, E. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Magnetically actuated MEMS scanning mirror [2687-06]

    Miller, R. A. / Burr, G. W. / Tai, Y.-C. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Analysis of optical beam steering using phased micromirror arrays [2687-08]

    Watson, E. A. / Miller, A. R. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1996