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    Titel :

    Actuation of polysilicon surface-micromachined mirrors [2687-07]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference, Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics ; 1996 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    7 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Optical network of silicon micromachined sensors [2687-10]

    Wilson, M. L. / Burns, D. W. / Zook, J. D. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Nr. 2687

    DataCite | 1897


    Magnetically actuated MEMS scanning mirror [2687-06]

    Miller, R. A. / Burr, G. W. / Tai, Y.-C. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Micromachined polysilicon resonating xylophone bar magnetometer

    Wickenden, D.K. / Champion, J.L. / Osiander, R. et al. | Elsevier | 2002


    Micromachined polysilicon resonating xylophone bar magnetometer

    Wickenden, D. K. / Champion, J. L. / Osiander, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003