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    Mask-less dry texturing of crystalline silicon solar cells in atmospheric pressure conditions

    Kafle, Bishal / Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme / Fraunhofer IRB-Verlag | TIBKAT | 2018
    Schlagwörter: Trockenätzen

    Design and fabrication of high-performance polysilicon vibrating ring gyroscope

    Ayazi, F. / Najafi, K. | Tema Archiv | 1998
    Schlagwörter: tiefes Trockenätzen