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    Industrielle Schnellabscheidung von µc-Si Schichten für Photovoltaik-Anwendungen (Quick µc-Si) : Schlussbericht

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    Michard, Stephan / Ding, Kaining / Meier, Matthias et al. | TIBKAT | 2014
    Verlag: Institut für Energie- und Klimaforschung (IEK 5) - Photovoltaik Forschungszentrum Jülich GmbH , Jülich