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    Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine

    Dai, Gaoliang / Pohlenz, Frank / Danzebrink, Hans-Ulrich | IuD Bahn | 2006
    Schlagwörter: Nanotechnologie