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    Oxidation of high area ratio silicon microchannels fabricated by electrochemical etching

    Chen, Xiaoming / Lin, Jilei / Xu, Shaohui et al. | Tema Archiv | 2008
    Schlagwörter: elektrochemisches Ätzen

    Herstellung eines analog ansteuerbaren Mikrospiegelarrays

    Schröder, P. / Hilleringmann, U. | Tema Archiv | 2007
    Schlagwörter: elektrochemisches Ätzen

    Poröses Silizium - Basiswerkstoff für pyrotechnische Bauelemente. Funktionswerkstoffe und neuartige Technologiekonzepte

    Völlmeke, Stefan / Bartuch, Herbert / Laucht, Horst et al. | Tema Archiv | 2006
    Schlagwörter: elektrochemisches Ätzen