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    Korrosions- und verschleißfeste Werkstoffverbundsysteme für Pumpenbauteile mit PVD- und PECVD-Schutzschichten - Pumpenbeschichtung : Schlussbericht für den Zeitraum: 01.08.2006 - 31.07.2008

    Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Institut für Oberflächentechnik | TIBKAT | 2008
    Schlagwörter: PVD-Verfahren , PECVD-Verfahren

    HighVolEpi: Hochdurchsatz Silicium-basierte Schichten und Silicium-Epitaxie für die Photovoltaik : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.07.2012 bis 30.06.2016

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    Lindekugel, Stefan / Janz, Stefan / Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme | TIBKAT | 2017
    Schlagwörter: CVD-Verfahren

      HighVolEpi: Hochdurchsatz Silicium-basierte Schichten und Silicium-Epitaxie für die Photovoltaik : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.07.2012 bis 30.06.2016

      Lindekugel, Stefan / Janz, Stefan / Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme | TIBKAT | 2017
      Schlagwörter: CVD-Verfahren

    Vorhabenbezeichnung: Innovative Siliziumkristallisation - Weiterentwicklung der Silizium Monokristallfertigung (Inno-Si) : Abschlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2016 bis 31.12.2018

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    Kunert, Roland / Zobel, Frank / Dold, Peter et al. | TIBKAT | 2019
    Schlagwörter: Czochralski-Verfahren

    Ultrahochauflösende EPR - Spektroskopie an Dünnschichtsilizium für die Solarenergieforschung (EPR-Solar) : Schlussbericht

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    Finger, Friedhelm / Astakhov, Oleksandr | TIBKAT | 2013
    Schlagwörter: Hochauflösendes Verfahren

      Ultrahochauflösende EPR - Spektroskopie an Dünnschichtsilizium für die Solarenergieforschung (EPR-Solar) : Schlussbericht

      Finger, Friedhelm / Astakhov, Oleksandr | TIBKAT | 2013
      Schlagwörter: Hochauflösendes Verfahren