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    Hochreine, kristalline Silizium-Absorber : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.07.2014 - 31.12.2017

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    Laure, Stefan / Riepe, Stephan / Dr. Laure Plasmatechnologie GmbH et al. | TIBKAT | 2019

    Industrielle Schnellabscheidung von µc-Si Schichten für Photovoltaik-Anwendungen (Quick µc-Si) : Schlussbericht

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    Michard, Stephan / Ding, Kaining / Meier, Matthias et al. | TIBKAT | 2014

    Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage : Bearbeitungszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010

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    Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik | TIBKAT | 2010