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    Amorphe Silizium-Kohlenstoff-Filme für Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von Silylmethanen

    Fölsch, Joachim / Institut für Schicht- und Ionentechnik, Jülich | TIBKAT | 1995

    Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid

    Zilbauer, Thomas | TIBKAT | 2010

      Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid

      Zilbauer, Thomas | GWLB - Gottfried Wilhelm Leibniz Bibliothek | 2010