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    Piezoresistive Acceleration Sensor for Automotive Applications

    Tsugai, Masahiro / Onishi, Masayoshi / Bessho, Mikio et al. | SAE Technical Papers | 1992
    Schlagwörter: Semiconductors

    SOI Type Pressure Sensor for High Temperature Pressure Measurement

    Bessho, Mikio / Ipposhi, Takashi / Hase, Yuji | SAE Technical Papers | 1994
    Schlagwörter: Semiconductors