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    Design of an electrostatically excited H-type resonant gyroscope suitable for fabrication using the LIGA process

    Yao, L. / Chowanietz, E. / McCormick, M. et al. | Tema Archiv | 1998
    Schlagwörter: Mikrosystemtechnik

    Design and simulation of high aspect ratio motion sensors

    Yao, L. / Chowanietz, E. / McCormick, M. et al. | Tema Archiv | 1996
    Schlagwörter: Mikrosystemtechnik