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    Treibmittel-Vakuumpumpe in Mikrosystemtechnik

    Doms, Marco / Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik | TIBKAT | 2008
    Schlagwörter: Vakuumpumpe

    Spaltströmungen im Vakuum

    Wenderott, Dirk | TIBKAT | 2001
    Schlagwörter: Vakuumpumpe