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    HighVolEpi: Hochdurchsatz Silicium-basierte Schichten und Silicium-Epitaxie für die Photovoltaik : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.07.2012 bis 30.06.2016

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    Lindekugel, Stefan / Janz, Stefan / Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme | TIBKAT | 2017
    Schlagwörter: CVD-Verfahren

      HighVolEpi: Hochdurchsatz Silicium-basierte Schichten und Silicium-Epitaxie für die Photovoltaik : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.07.2012 bis 30.06.2016

      Lindekugel, Stefan / Janz, Stefan / Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme | TIBKAT | 2017
      Schlagwörter: CVD-Verfahren

    Korrosions- und verschleißfeste Werkstoffverbundsysteme für Pumpenbauteile mit PVD- und PECVD-Schutzschichten - Pumpenbeschichtung : Schlussbericht für den Zeitraum: 01.08.2006 - 31.07.2008

    Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Institut für Oberflächentechnik | TIBKAT | 2008
    Schlagwörter: PVD-Verfahren , PECVD-Verfahren