Die Firma Mannesmann-Kienzle GmbH in Villingen-Schwenningen errichtete ein Fertigungszentrum für Mikromechanik. Damit beginnt der Hersteller von Fahrtschreibern die Produktion mikromechanischer Siliziumsensoren für Anwendungen im Kraftfahrzeugbereich. Ein Beschleunigungssensor wird bereits in einem Unfalldatenspeicher angewendet, um die Quer- und Längsbeschleunigung des Fahrzeugs aufzuzeichnen sowie damit Daten zur Unfallrekonstruktion zu liefern. Der Sensor ließe sich ferner nutzen bei der Steuerung von Insassenschutzeinrichtungen, wie Airbag, Gurtstraffer oder Überrollbügel sowie zur Regelung des Fahrwerks. Die Herstellung der Mikrosensoren beruht auf Fertigungsverfahren der Halbleitertechnologie unter Reinraumbedingungen. Die Basismaterialien sind Silizium- und Glaswafer. Bei dem als Differentialkondensator ausgebildeten Sensor schwingt eine Siliziumelektrode zwischen zwei Al-Elektroden, die auf das Glas aufgedampft wurden. Nach verschiedenen Beschichtungs- und Ätzverfahren befinden sich auf einem Wafer 99 Sensoren.
Mikromechanischer Beschleunigungssensor
Elektrotechnische Zeitschrift, ETZ ; 115 , 6 ; 334-335
1994
2 Seiten, 1 Bild
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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