Auf Grund der wachsenden Bedeutung von Gasverunreinigungen (besonders durch Feuchtigkeit) in der Halbleiterindustrie, der notwendigen Wahrung der Gasreinheit bei der Leitung durch ausgedehnte Gasverteilungssysteme und deren qualitative wie quantitative Erfahrung wurden von Liquid Air unter Einhaltung praxisnaher Bedingungen an einer Versuchsanlage bei Durchstroemung mit ultrareinem Stickstoff Untersuchungen durchgefuehrt. Beschrieben werden die Voraussetzungen fuer die Studie und die aus ihr gewonnenen Erkenntnisse unter Behandlung von: 1) Experimentelle Bedingungen (N2-Reinheit, Gasstrom, Edelstahlroehrensystem, Systemarchitektur, Materialvorbehandlung, Messparameter); 2) Messergebnisse der Experimente im ppb- und ppm-Bereich fuer Feuchtigkeits-, Sauerstoff- bzw. Wasserstoffkontamination des Stickstoffs (Einfluesse durch Systembehandlung, Roehren- und Filterersatz, Temperatur, Polymerroehren, Wasserstoffentwicklung aus Stahlwaenden); 3) Moegliche Reinsysteme.
Moisture in high-purity gas systems
Feuchtigkeit in hochreinen Gassystemen
Microelectronic Manufacturing and Testing ; 11 , 7 ; 11-13
1988
3 Seiten, 12 Bilder, 2 Tabellen, 6 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
FEUCHTIGKEIT , VERSUCHSERGEBNIS , FEUCHTEMESSUNG , REINHEIT , GAS , VERUNREINIGUNG , STICKSTOFF , SAUERSTOFF , WASSERSTOFF , SPURENANALYSE , NORM , ROSTFREIER STAHL , POLYMER , ENTFEUCHTEN , SYSTEMBESCHREIBUNG , ROHRLEITUNG , INDUSTRIE , HALBLEITERTECHNOLOGIE , MODELLUNTERSUCHUNG , GASANALYSE , TEFLON , KONZENTRATION
SAE Technical Papers | 1988
SAE Technical Papers | 2019
SAE Technical Papers | 2014
SAE Technical Papers | 1993