Die Temperaturregelung von komprimierten Gasen in Zylindern zwischen dem Aufbewahrungsort und der Prozesslinie resultiert in einer erhoehten Gleichfoermigkeit der Aetzrate beim Aluminium-Plasmaaetzen und in einer neunundneunzigprozentigen Reduzierung der Kondensation korrosiver Gase in Rohrleitungen und Masseflussreglern. Davon betroffen sind hauptsaechlich Gase, deren Siedepunkt in der Naehe der Umgebungstemperatur liegt, wie Dichlorsilan und Bortrichlorid. An der Hand des Druck-Temperatur-Phasendiagramms und des Gesetzes ueber reale Gase werden die Zusammenhaenge verdeutlicht. Probleme entstehen meist dann, wenn fuer den Aufbewahrungsort der Gaszylinder keine gleichbleibenden Temperaturen gewaehrleistet und die Rohrleitungen nicht auf kuerzestem Weg zum Prozessort verlegt sind. Als Beispiele fuer die Notwendigkeit der Temperaturregelung fuehren die Autoren Diboran fuer die Borphosphorsilikatglasabscheidung, Bortrichlorid fuer das Plasmametallaetzen und Dichlorsilan fuer die Niederdruckgasphasenabscheidung an.


    Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Control of gas delivery system temperatures for improved process control


    Weitere Titelangaben:

    Steuerung der Temperaturen des Gasanliefersystems zur verbesserten Prozessregelung


    Beteiligte:
    Anderson, L. (Autor:in) / Shepherd, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1987


    Format / Umfang :

    2 Seiten


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    DELIVERY CONTROL SYSTEM, DELIVERY CONTROLLER, AND DELIVERY CONTROL METHOD

    TAZUME TOSHIAKI | Europäisches Patentamt | 2024

    Freier Zugriff

    HYBRID POWER DELIVERY WITH IMPROVED POWER CONTROL

    BUIEL EDWARD / MICHAEL JOSEPH / VICHNYAKOV VLAD | Europäisches Patentamt | 2017

    Freier Zugriff

    HYBRID POWER DELIVERY WITH IMPROVED POWER CONTROL

    BUIEL EDWARD / MICHAEL JOSEPH / VICHNYAKOV VLAD | Europäisches Patentamt | 2017

    Freier Zugriff


    DELIVERY VEHICLE AND DELIVERY VEHICLE CONTROL SYSTEM

    KIYOUE HIROAKI | Europäisches Patentamt | 2022

    Freier Zugriff