Plasmapolymere haben aufgrund ihrer verzweigten, hoch vernetzten Struktur eine hoehere chemische und thermische Bestaendigkeit als die entsprechenden chemisch polymerisierten Polymere. Darueber hinaus bilden sie vergleichsweise harte Filme mit guter Porenfreiheit. Zu ihrer Herstellung in einer Glimmentladung koennen die verschiedensten Monomere verwendet werden. Insbesondere sind auch vollstaendig gesaettigte Verbindungen 'polymerisierbar'. So koennen zum Beispiel Schutzschichten fuer Scheinwerferspiegel aus dem Monomer Hexamethyldisiloxan, HMDS(O), hergestellt werden. Die bei der Schichtherstellung vorherrschenden Reaktionsmechanismen in der verwendeten Gluehkathodenentladung sind strom- und adsorptionskontrollierte Oberflaechenprozesse sowie ein Elektronenanlagerungsprozess. Die Schichthaerte von etwa 5 Mikrometer dicken HMDS(O)-Glimmpolymerschichten kann durch Sauerstoffzumischung zum Monomer deutlich gesteigert werden. Mit einer speziellen Gradientenschicht geschuetztes Polycarbonat erreicht so die Zerkratzungsbestaendigkeit von Glas.
Schutzschichten durch Plasmapolymerisation
Protective coatings from plasma polymerization
Bosch Technische Berichte ; 8 , 5 ; 219-226
1987
8 Seiten, 15 Bilder, 1 Tabelle, 8 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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