Die Mikromechanik macht sich die Herstellungstechnik der Mikroelektronik zunutze. Mit Hilfe von Photolithographie, Aetztechnik oder Dotierungstechnik werden aus Silicium-Wafern feinste mechanische Elemente gefertigt. Am verbreitetsten sind heute Druck- und Beschleunigungssensoren aber auch Duesen, Siebe, Steckverbindungen, Elektronenstrahlmasken, Gasdurchflusssensoren etc. werden schon hergestellt. Potentielle Anwendungsgebiete sind auch Medizin, Optik, Optoelektronik, Luft- und Raumfahrt, Konsumgueterindustrie sowie Datenverarbeitung und Nachrichtentechnik. Bis fuer diese Bereiche anwendungsreife Bauteile vorliegen, werden jedoch noch 8 bis 10 Jahre vergehen, zum einen bedingt durch die noetigen Entwicklungs- und Erprobungszeiten zum anderen durch die noch fehlenden Experten der Mikromechanik.
Mikromechanik. Eine neue Technik kuendigt sich an
Micromechanics. A new technique appears
VDI-Nachrichten ; 43 , 10 ; 27
1989
1 Seite, 1 Bild, 1 Tabelle
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Moeglichkeiten der neuen Mikromechanik
Kraftfahrwesen | 1993
|HF-MEMS-Schalter: Mikromechanik schaltet HF-Signale sauber um
British Library Online Contents | 2008
Duennfilm-Drucksensoren - eine neue Technik
Kraftfahrwesen | 1982
|