Ladungsgekoppelte Detektor-Arrays (CCD) wurden zunaechst als Bild-Detektoren im sichtbaren und nahen IR-Gebiet benutzt. Hier wird ueber die erste direkte Detektion von Strahlung im extremen UV-Gebiet durch CCD berichtet. Zur Beleuchtung wurden die Helium-Resonanzlinien 58,4 nm und 30,4 nm und die Neonlinie 73,6 nm benutzt. CCD-Arrays werden normalerweise von vorn (Elektrodenseite) beleuchtet. Zur Beleuchtung von der Rueckseite (Substrat) ist eine Verringerung der Dicke durch Substrat-Aetzung auf etwa 10 Mikrometer noetig. Hier wurde ein entsprechend nachbehandeltes RCA-Array SID 52501 mit 256 x 320 Elementen benutzt. So wurde das Schattenbild eines feinen Gitters durch monochromatische Beleuchtung von der Rueckseite aus gewonnen. Bildbeispiele werden gegeben.
Direct detection of XUV radiation with a CCD
Direkte Detektion von XUV-Strahlung mit einem CCD-Array
Applied Optics ; 19 , 10 ; 1563-1565
1980
3 Seiten, 4 Bilder, 10 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
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