Bei elektronischen Einspritz- und Zuendanlagen werden Druckfuehler fuer Druecke von 0,4 bis 1,8 bar benoetigt. Diese Druckfuehler muessen den schwierigen Anforderungen des Automobilbaues gerecht werden. Vorgestellt werden hier Theorie und Entwicklung eines Druckaufnehmers, der die piezoelektrischen Eigenschaften eines Dickfilmsubstrates ausnutzt. Das Substrat ist auf einem keramischen Diaphragma befestigt. Abschliessend wird ueber die Fertigungstechniken berichtet.
Low cost thick-film pressure sensor
Ein billiger Druckmessaufnehmer in Dickfilmtechnik
1980
6 Seiten, 10 Bilder, 2 Tabellen, 8 Quellen
Aufsatz (Konferenz)
Englisch
Low cost thick-film pressure sensor
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