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    Titel :

    Polycrystalline silicon films prepared by improved pulsed rapid thermal annealing



    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2000



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher / 52.52 Thermische Energieerzeugung, Wärmetechnik / 52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 50.70 Energie: Allgemeines



    Formation of polycrystalline-silicon-germanium films by pulsed laser-induced rapid annealing [5662-69]

    Watakabe, H. / Sameshima, T. / Kanno, H. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004



    Multilayer Capacitors in Polycrystalline Diamond by Rapid Thermal Annealing

    Kosel, P. / Monreal, R. / Fries-Carr, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998