Zu Mikrobauteilen verarbeitet Werkstoffe und Proben können durchaus grundverschiedene Eigenschaften aufweisen als dieselben Stoffe im Makrobereich, da mikrostrukturelle, dimensionale oder auch herstellungsbedingte Effekte auftreten können, die im Makrobereich keinen Einfluss haben. Hinzu kommt, dass Prüfverfahren im Mikrobereich ohne Messmarken oder Werkstoffpräparierungen auskommen müssen. Es wird gezeigt, wie auf Basis der Auswertung von Laser-Speckle-Mustern mittels optischer Bildverarbeitung das Dehnungsverhalten von Dünnschichtsensoren und -aktoren im berührungslosen Messverfahren ermittelt werden kann. Die eingesetzten Signalverarbeitungsalgorithmen werden erläutert. Die Methode wurde an vielschichtigen Mikrobauteilen aus Metall-, Keramik- und Polymerproben erfolgreich getestet und eignet sich im industriellen Umfeld auch zur Erfassung geometrisch unregelmäßig geformter Messobjekte.
Hochauflösende Laser-Speckle-Methode zur Charakterisierung komplexer thermomechanischer Eigenschaften von Vielschicht-Systemen
Application of a high-resolution laser-speckle strain gauge for the characterization of thermomechanical properties of multilayer system
tm - Technisches Messen ; 75 , 6 ; 398-405
2008-01-01
8 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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