We report sub-140 nm resolution imaging with 46.9 nm radiation from a compact capillary-discharge laser. This result was obtained using a combination of a Sc/Si multilayer-coated Schwarzschild condenser and free-standing imaging zone plate.


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    Titel :

    Nano-scale imaging with a compact EUV laser


    Beteiligte:
    Vaschenko, G. (Autor:in) / Brizuela, F. (Autor:in) / Brewer, C. (Autor:in) / Grisham, M. (Autor:in) / Mancini, H. (Autor:in) / Menoni, C.S. (Autor:in) / Marconi, M. (Autor:in) / Rocca, J.J. (Autor:in) / Chao, W. (Autor:in) / Liddle, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2005-01-01


    Format / Umfang :

    1334943 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Nano-imaging with compact extreme ultraviolet laser sources

    Vaschenko, G. / Brizuela, F. / Brewer, C. et al. | SPIE | 2005


    Compact laser sources for laser designation, ranging and active imaging [6552-15]

    Goldberg, L. / Nettleton, J. / Schilling, B. et al. | British Library Conference Proceedings | 2007


    Compact Imaging Spectrometer

    Wellman, J. B. / Goetz, A. F. H. / Herring, M. et al. | NTRS | 1986