The present invention provides a method for producing a far-infrared transmission member that has a high far-infrared transmittance. Provided is a method for producing a far-infrared transmission member in which a mixed target of NiO and Ni is used to form, on a substrate through which far-infrared rays pass, a far-infrared transmission film including one or more nickel oxide layers by sputtering in a mixed atmosphere of Ar gas and oxygen gas, wherein: the content of NiO in the mixed target is not less than 30 mass% to less than 100 mass% with respect the entire mixed target; and the volume flow rate of the oxygen gas in the mixed atmosphere is not less than 1% to less than 50% with respect to the total volume flow rate of the Ar gas and the oxygen gas.
La présente invention concerne un procédé de production d'un élément de transmission à infrarouge lointain qui a une transmittance dans l'infrarouge lointain élevée. L'invention concerne un procédé de production d'un élément de transmission à infrarouge lointain dans lequel une cible mixte de NiO et de Ni est utilisée pour former, sur un substrat à travers lequel passent des rayons infrarouges lointains, un film de transmission infrarouge lointain comprenant une ou plusieurs couches d'oxyde de nickel par pulvérisation dans une atmosphère mixte de gaz Ar et de gaz oxygène, la teneur en NiO dans la cible mixte n'étant pas inférieure à 30 % en masse à moins de 100 % en masse par rapport à la cible mixte entière ; et le débit volumique du gaz oxygène dans l'atmosphère mixte n'est pas inférieur à 1 % à moins de 50 % par rapport au débit volumique total du gaz Ar et du gaz oxygène.
遠赤外線透過率の高い遠赤外線透過部材の製造方法。遠赤外線を透過する基材上に、NiOとNiとの混合ターゲットを用い、Arガスと酸素ガスの混合雰囲気下でスパッタリングして、酸化ニッケル層を1層以上含む遠赤外線透過膜を形成する、遠赤外線透過部材の製造方法において、混合ターゲット中のNiOの含有率が、混合ターゲットの全体に対して、30質量%以上100質量%未満であり、混合雰囲気中の酸素ガスの体積流量比率が、Arガスと酸素ガスの合計体積流量に対して1%以上50%未満である、遠赤外線透過部材の製造方法。
METHOD FOR PRODUCING FAR-INFRARED TRANSMISSION MEMBER, AND FAR-INFRARED TRANSMISSION MEMBER
PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN ÉLÉMENT DE TRANSMISSION À INFRAROUGE LOINTAIN, ET ÉLÉMENT DE TRANSMISSION À INFRAROUGE LOINTAIN
遠赤外線透過部材の製造方法及び遠赤外線透過部材
2022-11-24
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC: | G02B Optische Elemente, Systeme oder Geräte , OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS / B60J WINDOWS, WINDSCREENS, NON-FIXED ROOFS, DOORS, OR SIMILAR DEVICES FOR VEHICLES , Fenster, Windschutzscheiben und bewegbare Dächer, Türen oder Ähnliches für Fahrzeuge / C01G Verbindungen der von den Unterklassen C01D oder C01F nicht umfassten Metalle , COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F / C03C Chemische Zusammensetzungen für Gläser, Glasuren oder Emails , CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS / C23C Beschichten metallischer Werkstoffe , COATING METALLIC MATERIAL |
METHOD FOR PRODUCING FAR-INFRARED TRANSMISSION MEMBER, AND FAR-INFRARED TRANSMISSION MEMBER
Europäisches Patentamt | 2024
|Europäisches Patentamt | 2023
|Europäisches Patentamt | 2023
|