A gas sensor (100) comprises: a gas detection element comprising a first electrode (105), a metal oxide layer (106), and a second electrode (108); and a first insulating film (109) that has an opening exposing one section of the second electrode (108) and that covers the first electrode (105), the metal oxide layer (106), and another section of the second electrode (108). The metal oxide layer (106) has a characteristic whereby a resistance value changes as a result of the second electrode (108) being in contact with a gas molecule including hydrogen atoms. A first step (121) is formed in a section positioned inside an opening (109a) in the planar view of a boundary surface between the metal oxide layer (106) and the second electrode (108). A local area (107) is formed in the vicinity of the first step (121) in the metal oxide layer (106). The oxygen deficiency in the local area (107) is greater than the oxygen deficiency in other areas in the metal oxide layer (106).
L'invention concerne un capteur de gaz (100) comprenant : un élément de détection de gaz comprenant une première électrode (105), une couche d'oxyde métallique (106), et une seconde électrode (108); et un premier film isolant (109) possédant une ouverture exposant une section de la seconde électrode (108) et recouvrant la première électrode (105), la couche d'oxyde métallique (106) et une autre section de la seconde électrode (108). La couche d'oxyde métallique (106) présente une caractéristique selon laquelle une valeur de résistance change en conséquence du contact de la seconde électrode (108) avec une molécule de gaz comprenant des atomes d'hydrogène. Un premier étage (121) est formé dans une section positionnée à l'intérieur d'une ouverture (109a) dans la vue en plan d'une surface de limite entre la couche d'oxyde métallique (106) et la seconde électrode (108). Une zone locale (107) est formée au voisinage de la première étape (121) dans la couche d'oxyde métallique (106). La déficience en oxygène dans la zone locale (107) est supérieure à la déficience en oxygène dans d'autres zones dans la couche d'oxyde métallique (106).
気体センサ(100)は、第1電極(105)、金属酸化物層(106)および第2電極(108)からなる気体検知素子と、第2電極(108)の一部を露出した開口を有し、第1電極(105)、金属酸化物層(106)および第2電極(108)の他の一部を被覆する第1絶縁膜(109)と、を備えている。金属酸化物層(106)は第2電極(108)が水素原子を含む気体分子に接触することで抵抗値が変化する特性を備え、金属酸化物層(106)と第2電極(108)との界面の平面視において開口(109a)内に位置する部分に第1段差(121)が形成され、金属酸化物層(106)における第1段差(121)の近傍に局所領域(107)が形成され、局所領域(107)における酸素不足度は金属酸化物層(106)の他の領域における酸素不足度よりも大きい。
GAS SENSOR, PRODUCTION METHOD THEREFOR, AND FUEL CELL VEHICLE
CAPTEUR DE GAZ, PROCÉDÉ DE PRODUCTION CORRESPONDANT ET VÉHICULE À PILE À COMBUSTIBLE
気体センサとその製造方法、および燃料電池自動車
2020-09-10
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC: | G01N Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften , INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / H01M Verfahren oder Mittel, z.B. Batterien, für die direkte Umwandlung von chemischer in elektrische Energie , PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY |
GAS SENSOR, PRODUCTION METHOD THEREFOR, AND FUEL CELL VEHICLE
Europäisches Patentamt | 2021
|