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    Titel :

    Design and fabrication of monolithically integrated pressure and temperature sensor using MEMS processes for wide band gap materials


    Beteiligte:
    Dasgupta, S. (Autor:in) / Boyd, J. (Autor:in) / Scofield, J. (Autor:in)

    Kongress:

    AIAA Space 2001 Conference and Exposition ; 2001 ; Albuquerque , NM , U.S.A.



    Erscheinungsdatum :

    2001-01-01



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




    A Generic Monolithically Integrated Micromechanic Optic Sensor (MIMOS)

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1996


    A generic monolithically integrated micromechanic optic sensor (MIMOS)

    Tran, A.T.T.D. / Lee, J.J. / Zhang, K. et al. | IEEE | 1996


    A Monolithically Integrated Photoreceiver Compatible With InP/InGaAs HBT Fabrication Process

    Sano, E. / Yoneyama, M. / Nakajima, H. et al. | British Library Online Contents | 1994


    Monolithically Integrated Micro Flapping Vehicles

    J. S. Pulskamp / R. G. Polcawich / G. L. Smith et al. | NTIS | 2012