Aluminium Nitride, polyimide, piezoelectric, flexible, MEMS


    Zugriff

    Download


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Flexible Aluminium Nitride/Polyimide piezoelectric material for MEMS applications


    Beteiligte:
    Jackson, Nathan (Autor:in) / Keeney, Lynette (Autor:in) / Mathewson, Alan (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2013


    Format / Umfang :

    Online-Ressource (3 S., 237,57 KB)


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst.
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    51.45 Werkstoffe mit besonderen Eigenschaften / 53.09 Werkstoffe der Elektrotechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher



    MEMS-based electrostatically tunable microstrip patch antenna using flexible polyimide film [5798-31]

    Goteti, R. V. / Ramadoss, R. | British Library Conference Proceedings | 2005


    A Flush-Mount, IEPE MEMS Piezoelectric Microphone for Aeroacoustic Applications

    Mills, David A. / Patterson, William / Underbrink, James R. et al. | AIAA | 2021


    FLEXIBLE POLYIMIDE-BACKED AVIATION VENEER

    HUSSAIN FARZANA / CHAPMAN CHRISTOPHER L | Europäisches Patentamt | 2018

    Freier Zugriff

    Study and Optimization of Piezoelectric Materials for MEMS Biochemical Sensor Applications

    Nagaraj, M. J. / Shantha, V. / Nishanth, N. et al. | Springer Verlag | 2021


    Flexible polyimide-backed aviation veneer

    HUSSAIN FARZANA / CHAPMAN CHRISTOPHER L | Europäisches Patentamt | 2020

    Freier Zugriff