Aluminium Nitride, polyimide, piezoelectric, flexible, MEMS
Flexible Aluminium Nitride/Polyimide piezoelectric material for MEMS applications
2013
Online-Ressource (3 S., 237,57 KB)
Ill., graph. Darst.
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
Aufsatz (Konferenz)
Elektronische Ressource
Englisch
British Library Conference Proceedings | 2005
|Study and Optimization of Piezoelectric Materials for MEMS Biochemical Sensor Applications
Springer Verlag | 2021
|